In de wereld van de productie van halfgeleiderapparatuuroppervlaktekwaliteit gaat niet alleen over esthetiek-het gaat over functionaliteit, duurzaamheid en precisie. Componenten zoals wafer-klauwplaten, lensbevestigingen en precisiegeleiders moeten niet alleen aan maattoleranties voldoen, maar ook aan tolerantiesextreme vereisten voor oppervlakteafwerking, vaak hieronderRa 0,1 μm.
Waarom nanometer-een vlakke oppervlakteafwerking belangrijk is
Halfgeleiderapparatuur met hoge-prestaties is sterk afhankelijk van contactnauwkeurigheid en compatibiliteit met cleanrooms. Een oppervlakteruwheid die de nanometerdrempels overschrijdt, kan:
Interfereren metNauwkeurigheid van plaatsing van wafers
Toenamewrijving en slijtagetijdens beweging
Oorzaakoptische signaalverstrooiing, wat de fotolithografie beïnvloedt
Creërendeeltjesvangers, waardoor het besmettingsrisico toeneemt
Bijvoorbeeld, eensteunring voor waferpodiummet een oppervlakteruwheid boven de specificatie kunnen micro-vibraties veroorzaken, waardoor de positioneringsnauwkeurigheid afneemt en de opbrengst afneemt.
De CNC-bewerkingsuitdaging
Het bereiken van een oppervlakteafwerking van Ra kleiner dan of gelijk aan 0,1 μm gaat veel verder dan standaard CNC-processen. Traditionele gereedschappen en parameters laten vaak micro-krassen, bewerkingssporen of restspanningen achter-wat onaanvaardbaar is in halfgeleideromgevingen.
Onze benadering van nanometer-kwaliteit op nanometerniveau
BijBISHEN-precisie, hebben we bewerkingsworkflows ontwikkeld die specifiek zijn bedoeld voor oppervlakte-gevoelige toepassingen:
Gebruik vanultra-fijnkorrelige hardmetalen gereedschappenmet aangepaste geometrieën
Polijsten gaatgeïntegreerd in de uiteindelijke toolpaths
Koelvloeistofregelsystemenom door hitte-geïnduceerde micro-scheurtjes te voorkomen
Coördinatie metCMM's en wit{0}}lichtinterferometersruwheid te valideren
Elk onderdeel ondergaat een meer-fase-inspectie, niet alleen op maattoleranties, maar ook opoppervlakteconsistentie van sub- micronover alle contactvlakken.
Real case: spiegel-Afgewerkte wafelsteunplaten
Een klant had aluminium wafelplaten nodig met een betere oppervlakteafwerking danRa 0,05 μm, uniform over het gehele armatuur. Met behulp van geoptimaliseerde afwerkingstechnieken met hoge-snelheid en op maat gemaakte polijststrategieën hebben we componenten geleverd die de specificaties overtreffen-klaar voor assemblage in cleanrooms op EUV-niveau.
Laat Surface Finish uw systeem niet ondermijnen
Oppervlakte-imperfecties op nanoschaal kunnen stilletjes uw meest nauwkeurige mechanismen in gevaar brengen. Als uw toepassing dit vereistafwerkingen van optische-kwaliteit, ofsuperieure wrijvingsprestaties, praat met ons. Wij zorgen ervoor dat uw onderdelen aan beide voldoentolerantieEntextuur.
