Analyse van verwerkingsobject
Materiaal: kwartsglas van optische kwaliteit
Verwerkingsfuncties: multi-contourslijpen van oppervlakken (inclusief 3 asymmetrische facetten)
Belangrijkste afmetingen: 16×16×10mm (fout ±0,002mm)
Dit kwartsprisma, dat slechts zo groot is als een vingernagel, is het kernlicht-geleidende element van het optische systeem van een binnenlandse high- lithografiemachine. De acht complexe gebogen oppervlakken moeten een transmissie van 99,6% en een brekingsnauwkeurigheid op nanometer-niveau bereiken, en de oppervlakteruwheid heeft rechtstreeks invloed op de belichtingsresolutie van de lithografiemachine.
Pijnpunten in de sector en technische problemen
Een optisch technologiebedrijf stuitte op een knelpunt bij de verwerking van kwartsprisma's bij het promoten van de lokalisatie van lithografiemachines:
Traditionele slijpfouten: De ruwheid na handmatig polijsten bereikt nog steeds Sa 120 nm, wat resulteert in 15% lichtverstrooiingsverlies
Afhankelijkheid van apparatuur van import: De kosten van een enkele Japanse ultra-precisieslijpmachine bedragen meer dan 20 miljoen yuan, en de levertijd bedraagt maar liefst 18 maanden
Opbrengstcrisis: Slechts 32 van de eerste batch van 500 proefproducties voldeden aan de normen, wat de voortgang van het project ernstig belemmerde
Het dilemma van "kan zich geen geïmporteerde apparatuur veroorloven en binnenlandse processen zijn niet goed" blokkeerde direct het proces van de ontwikkeling van onafhankelijke lithografiemachines.
BISHENoplossingen' oplossing
Als antwoord op de extreme precisie-eisen van optische componenten heeft het technische team van BISHEN innovatief onderzoek en ontwikkeling ontwikkeld:
1. Ultrasoon verticaal vijf--assig verwerkingssysteem
2. 0.1μm-niveau dynamische compensatie, nauwkeurige controle van werktuigmachines met 18 assen
3. Bijpassende CAD/CAM-intelligente programmering van asymmetrisch oppervlak
4. Hoogfrequente ultrasone slijptechnologie
5. 40kHz ultrasone trillingen verminderen 52% van de snijspanning en vermijden kwartsmicroscheuren
6. De levensduur van diamantmicro-poederslijpschijven wordt drie keer verlengd
Werkelijk gemeten prestatiesprong
Er zijn drie belangrijke doorbraken bereikt in de massaproductie van een bepaald type prisma voor binnenlandse lithografiemachines:
1. Oppervlaktekwaliteit: Ruwheid Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Verwerkingsefficiëntie: werkuren voor afzonderlijke- stuks worden gecomprimeerd van 14 uur naar 3,5 uur
3. Kostenbeheersing: de investering in apparatuur bedraagt slechts 1/5 van de geïmporteerde oplossing
Het rendement van de eerste batch van 3.000 producten steeg naar 98,7%, waardoor klanten de assemblage van prototypes zes maanden eerder dan gepland konden voltooien
overBISHEN
BISHENPrecision Technology (opgericht in 2017) richt zich op het doorbreken van de 'bottleneck'-technologie op het gebied van hoogwaardige productie-. Het heeft een digitale fabriek van 7.500 vierkante meter gebouwd in Dongguan, uitgerust met geïmporteerde apparatuurclusters zoals bewerkingscentra met vijf- assen en ultra- optische precisieslijpmachines. Door innovatieve technologieën zoals ultrasone bewerking en cryogeen snijden toe te passen op halfgeleiderapparatuur, opto-elektronische instrumenten en andere gebieden, heeft het belangrijke oplossingen voor de verwerking van onderdelen geleverd aan meer dan twintig binnenlandse bedrijven in de lithografiemachine-industrie, en heeft het meer dan 500.000 optische precisiecomponenten geleverd.
